| 型號(Model) | PowerMetro L1200 | PowerMetro L1500 | PowerMetro L1800 | PowerMetro L2000 |
| 測量范圍(mm) | X | 1000 | 1200 | 1500 | 1800 |
| Y | 1200 | 1500 | 1800 | 2000 |
| Z | 200 |
| 技術(shù)指標(biāo)Technical Features |
| 影像攝取系統(tǒng) | SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera |
| 分辨率 | 0.1um |
| 重復(fù)精度 | X/Y/Z=2.5um |
| 測量精度 | U1 x / y = (4.0+L/250)um |
| U1 z = (4.0+L/250)um |
| U2 x / y = (6.0+L/250)um |
| 光源照明系統(tǒng) | 同軸光（黃色LED） 輪廓光（黃色LED) 環(huán)光（黃色7向14位） |
| 雷射激光系統(tǒng) | Keyence LKG30 光點(diǎn)理論直徑：30um 工作范圍：+-4.5um 參照距離：30mm 光波長度：650nm |
| CCD兩種對焦模式 | 快速對焦（約1.5秒）& 高精度對焦 |
| 雷射對焦 | 單點(diǎn)對焦/掃描對焦 |
| 物鏡縮放倍率 | 1X | 25X 50X 100X (分辨率：1280X1024 17") |
| 2X | 50X 100X 200X (分辨率：1280X1024 17") |
| 物鏡焦距/工作范圍 | 1X | 92mm/80~93mm |
| 2X | 36mm/34~37mm |
| 機(jī)器特征Machine Features |
| 機(jī)器型式 | 花崗巖床臺固定橋式 |
| 機(jī)器重量（凈重/毛重） | 3800kg/4000kg | 4150kg/4400kg | 4500kg/4800kg | 4850kg/5200kg |
| 最大載荷 | 40kg |
| 最高運(yùn)行速度 | X、Y=350mm/s | Z=200mm/s |
| 最高加速度 | 1000mm/s2 |
| 系統(tǒng)特征System Features |
| 控制系統(tǒng) | 全自動CNC控制系統(tǒng) |
| 驅(qū)動系統(tǒng) | 四軸程控：三軸交流伺服馬達(dá)全閉回路控制，高精密級線性滑軌與預(yù)壓滾珠螺桿驅(qū)動，步進(jìn)馬達(dá)Zoom同軸控制鏡頭組 |
| 軟件配置 | 標(biāo)準(zhǔn) | Smart Inspector Pro3.0 |
| 選配 | 制程統(tǒng)計管制SPC模塊（網(wǎng)絡(luò)版）；QV、VMS程序轉(zhuǎn)換系統(tǒng)PowerMetrix離線版；3D型狀誤差動態(tài)分析軟件；CAD整合型報表；精密測量操作系統(tǒng)等 |
| 操作系統(tǒng) | Windows 7 |
| 外部工作環(huán)境Operating Environment |
| 電源 | 220V 50～60HZ >10A |
| 功率 | 2.0KW |
| 溫度范圍 | 20℃±2℃ 1℃/1h 2℃/24h 1℃/m |
| 濕度范圍 | 40%~70% |
| 電腦配置 | 可選（實(shí)際出貨以報價單為準(zhǔn)） |
