據(jù)報道，維也納技術大學（TU Wien）的研究人員開發(fā)了一種輕型光學系統(tǒng)，用于對表面進行微米級精度的三維（3D）檢測。該測量工具可以大大加強高科技產(chǎn)品的質量控制檢查，包括半導體芯片、太陽能電池板和消費電子產(chǎn)品，如平板電視。這項研究發(fā)表在《應用光學》（Applied Optics ）雜志上。
研究人員將共焦傳感器與一個高度集成的快速轉向鏡相結合，測量直徑僅為32毫米。他們還開發(fā)了一種重建過程，利用測量數(shù)據(jù)創(chuàng)建樣品表面形貌的3D圖像。3D測量系統(tǒng)非常緊湊，可以安裝在計量平臺上，作為與機械臂的連接，并通過主動反饋控制補償樣品和測量系統(tǒng)之間的振動。
“這個系統(tǒng)最終會給高科技制造業(yè)帶來各種好處，”Wertjanz說。“在線測量可以實現(xiàn)零故障生產(chǎn)過程，這對小批量制造特別有用。這些信息還可以用于優(yōu)化制造工藝和機床設置，從而提高整體產(chǎn)量?！?/p>
研究人員目前正致力于在計量平臺上落地應用該系統(tǒng)，并將其與機械臂結合。這將使他們能夠測試基于機器人的精密三維測量的可行性，在容易振動的環(huán)境中，如工業(yè)生產(chǎn)線上的自由曲面。
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