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據(jù)報(bào)道，維也納技術(shù)大學(xué)（TU Wien）的研究人員開發(fā)了一種輕型光學(xué)系統(tǒng)，用于對(duì)表面進(jìn)行微米級(jí)精度的三維（3D）檢測(cè)。該測(cè)量工具可以大大加強(qiáng)高科技產(chǎn)品的質(zhì)量控制檢查，包括半導(dǎo)體芯片、太陽(yáng)能電池板和消費(fèi)電子產(chǎn)品，如平板電視。這項(xiàng)研究發(fā)表在《應(yīng)用光學(xué)》（Applied Optics ）雜志上。

研究人員將共焦傳感器與一個(gè)高度集成的快速轉(zhuǎn)向鏡相結(jié)合，測(cè)量直徑僅為32毫米。他們還開發(fā)了一種重建過(guò)程，利用測(cè)量數(shù)據(jù)創(chuàng)建樣品表面形貌的3D圖像。3D測(cè)量系統(tǒng)非常緊湊，可以安裝在計(jì)量平臺(tái)上，作為與機(jī)械臂的連接，并通過(guò)主動(dòng)反饋控制補(bǔ)償樣品和測(cè)量系統(tǒng)之間的振動(dòng)。

“這個(gè)系統(tǒng)最終會(huì)給高科技制造業(yè)帶來(lái)各種好處，”Wertjanz說(shuō)。“在線測(cè)量可以實(shí)現(xiàn)零故障生產(chǎn)過(guò)程，這對(duì)小批量制造特別有用。這些信息還可以用于優(yōu)化制造工藝和機(jī)床設(shè)置，從而提高整體產(chǎn)量?！?/p>

研究人員目前正致力于在計(jì)量平臺(tái)上落地應(yīng)用該系統(tǒng)，并將其與機(jī)械臂結(jié)合。這將使他們能夠測(cè)試基于機(jī)器人的精密三維測(cè)量的可行性，在容易振動(dòng)的環(huán)境中，如工業(yè)生產(chǎn)線上的自由曲面。

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